Остертак, Д. И.
Микроэлектромеханика : учебное пособие / Д. И. Остертак. - Электрон. дан. (1 файл). - Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2016. - 121 с. - URL: http://www.iprbookshop.ru/91603.html. - Гарантированный срок размещения в ЭБС до 05.02.2025 (автопролонгация). - ISBN 978-5-7782-2901-3.

Аннотация: Пособие посвящено изучению физических основ явлений, наблюдающихся в микроэлектромеханических системах (МЭМС). Рассматриваются динамические свойства элементов МЭМС, эффекты масштабирования и демпфирования в МЭМС, основные виды МЭМС: электростатические, электромагнитные и пьезоэлектрические, рассмотрены некоторые примеры и даны задачи для самостоятельного решения. Предназначено для студентов, магистрантов и аспирантов, специализирующихся в области микросистемной техники и МЭМС, а также может быть рекомендовано студентам других специальностей, научным работникам и инженерам, желающим самостоятельно изучать физические принципы работы МЭМС или расширить и систематизировать свои знания в этой области. Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования и науки РФ в рамках базовой части государственного задания, код проекта 629, тема проекта: «Теория построения и практическая реализация широкополосных микроволновых устройств, предназначенных для использования в измерительном оборудовании цифровых систем телевидения, связи и телекоммуникаций, включая вычислительные системы».

URL биб.описания: http://lib.chuvgpu.ru/MegaPro/UserEntry?Action=FindDocs&ids=152254&idb=mega1