Саноян, А. Г.
Энтропийные модели микро- и наноструктур : учебное пособие / А. Г. Саноян, И. Н. Еремина. - Электрон. дан. (1 файл). - Самара : РЕАВИЗ, 2012. - 80 с. - URL: http://www.iprbookshop.ru/10149.

Аннотация: Процесс создания микро- и наноразмерных устройств рассматривается с позиции реализации комплекса мер, направленных на повышение вероятности размещения атомов определенного типа в заданных точках физического пространства. Вероятностный подход при рассмотрении технологической проблематики реализован с позиций методологии теории информации. Предложены энтропийные критерии оценки качества микро- и нанотехнологий, позволяющие сформировать требования к технологическим процессам во взаимосвязи со сложностью и выходом годных изделий. Введены в рассмотрение представления об информационном потенциале и дефиците микро- и нанотехнологий. Приведены результаты количественных оценок энтропийных показателей качества твердотельных наноустройств и технологий их создания. Учебное пособие адресовано широкому кругу специалистов, связанных по роду своей деятельности с вопросами разработки и создания микро- и наноразмерных устройств.

ББК: 30

URL биб.описания: http://lib.chuvgpu.ru/MegaPro/UserEntry?Action=FindDocs&ids=98851&idb=mega1