Смирнов, С. В.
Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем : учебное пособие / С. В. Смирнов. - Электрон. дан. (1 файл). - Томск : Томский гос. ун-т систем управления и радиоэлектроники, 2010. - 115 с. - URL: http://www.iprbookshop.ru/13944.

Аннотация: Изложены описания основных современных методов исследования и диагностического оборудования для контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем. Раскрыты возможности этих методов. Показано, каким образом совместное использование нескольких методов позволяет получить достоверную информацию о физических свойствах исследуемых структур. Для слушателей программы переподготовки в области промышленного производства наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ-диапазона и дискретных полупроводниковых приборов, а также для студентов специальностей 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" и 210600 "Нанотехнология".

ББК: 32.85

URL биб.описания: http://lib.chuvgpu.ru/MegaPro/UserEntry?Action=FindDocs&ids=100911&idb=mega1